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POCl3磷扩散原理
在半导体制造工艺中，磷扩散是一种非常重要的掺杂技术，广泛应用于晶体管和集成电路的生产过程中。而POCl₃（三氯氧磷）作为磷扩散的主要源
2025年06月04日 23:20:45
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在半导体制造工艺中，磷扩散是一种非常重要的掺杂技术，广泛应用于晶体管和集成电路的生产过程中。而POCl₃（三氯氧磷）作为磷扩散的主要源
